半导体晶片扫描微粒

Duke 杜克SURF-CAL 0.047-3um 
产品描述： Duke 杜克标准粒子 微粒 SURF-CAL用于半导体晶片扫描，0.047-3um

 

仪器介绍

用于半导体工业的SURF-CALTM 微粒产品，作为粒子表面附着标准，为标定专门检测裸露半导体硅晶片表面的扫描检测系统（SSIS）提供了经济、有效、和**的方法，粒子粒径纵贯0.047到3.0微米。该产品是NIST可溯源检测的聚苯乙烯悬浮微粒，微粒的浓度较优化到可以雾化沉积到晶片的表面。 
当采用传统的粒子表面附着系统时，浓度为每毫升3×108个粒子的SURF-CALTM悬浮液产品可在30－60秒中将每平方厘米6到10个粒子附着到200mm的晶片表面上。 浓度为每毫升1×1010个粒子的SURF-CALTM悬浮液产品则较适于应用于采用粒子排除技术的附着系统，使用这种方法时的附着时间和浓度是变化的。 
悬浮液的洁净程度非常高，从而将杂物残留在粒子或晶片表面的可能性减少到了较低程度，便于扫描仪在整个操作过程中的标定。由于产品含有较低的不挥发固体含量， SURF-CAL也用于其它气态分散粒子的测量。洁净的悬浮液也有助于在图案晶片、蚀刻蒙片和刻度板以及磁盘驱动方面的粒子检测。  
产品特征  
NIST可溯源标准  
? 协助半导体单晶片生产厂（Fab) 和Fab供应商之间的检测相容性 
粒径模式（峰）  
? 与使用表面扫描仪相匹配的测量技术 
可以在不同沉积方法上使用的浓度    
? 消除悬浊液稀释的误差和试验  
? 每小时更多的晶片  
? **晶片沉积 
适合常年使用  
? 不需要更换仪器标定  
? 
**的程序控制 
**低不挥发残余物  
? 低平干净的背景和基准线  
? 洁净悬浮液适用于气态  
? 不需要沉积系统的粒子的进一步分离  
使用期限  
? **样品稳定和结果可再现性 
洁净包装  
? 外包装以内的洁净包装  
? 便于在洁净区域易打开和使用的包装。 
Duke科学公司的经验  
? 较准确的粒径表征  
? 产品可信赖  
? 30年的粒子科学技术  
? 
**技术服务 

所有的产品都悬浮于50mL包装瓶的过滤后的去离子水中，粒子浓度为每毫升3×108个粒子。产品PD1100A或粒径更小的产品的浓度是每毫升1×1010个粒子，可用于需要移动差分型分析仪（DMA）或其它使用粒子排除原理的粒径分析仪。每个产品包装包括一个标准认定证书，NIST可溯源证明以及原材料安全系数表，”B”瓶的包装用于定购，请提前3-7个工作日。  
测量方法学：为了**NIST的直接可溯源检测，具有标定认证粒径的产品要经过NIST标准参照材